[实用新型]一种半自动感光膜曝光装置有效
申请号: | 201420218735.7 | 申请日: | 2014-04-30 |
公开(公告)号: | CN203799176U | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 刘维军;郭宝贵 | 申请(专利权)人: | 遂宁市维海电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 629000 四川省遂*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半自动感光膜曝光装置,它包括监控装置、装载框架(1)、曝光箱(2)和装载箱(3),装载框架(1)包括上框架(17)和下框架(18),下框架(18)设置有抽真空通道、抽真空气孔(11)和抽真空接头(12),监控装置包括光电传感器(21)、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器。本实用新型的有益效果是:提高了曝光效率,装载工作方便、容易进行,能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据,确保曝光过程中下透光板和上透光板之间的真空气压数值,从而保证曝光质量;通过控制器自动控制装载框架(1)的曝光操作和曝光时间,节省了人工,提高了工效。 | ||
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【主权项】:
一种半自动感光膜曝光装置,其特征在于:它包括监控装置、装载框架(1)、以及依次连接为一体的曝光箱(2)和装载箱(3),曝光箱(2)和装载箱(3)上均设置有用于安装装载框架(1)的水平导轨,曝光箱(2)位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源(6),所述的装载框架(1)包括上框架(17)和下框架(18),上框架(17)和下框架(18)通过设置于后侧面上的合页(7)连接为一体,上框架(17)的底面上设置有上透光板(8),下框架(18)的顶面上设置有容置上框架(17)的凹槽(9),该凹槽(9)的底面上设置有下透光板(10),下框架(18)内部设置有抽真空通道,下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之间的部分上设置有抽真空气孔(11),下框架(18)上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头(12),抽真空接头(12)通过抽真空通道与抽真空气孔(11)连通,所述的下框架(18)的左右两侧均设置有水平凸棱(13),下框架(18)的水平凸棱(13)滑动安装于曝光箱(2)和装载箱(3)的水平导轨内,曝光箱(2)上还安装有驱动电机(19),驱动电机(19)的电机轴连接有与水平导轨平行的丝杆(20),下框架(18)的底部设置有螺纹孔,丝杆(20)通过螺纹与螺纹孔连接,所述的监控装置包括光电传感器(21)、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器,抽真空接头(12)通过气路与真空泵吸气口相连,气路上设置有控制气路通断的电磁阀,气压传感器安装于下框架(18)的抽真空通道内,光电传感器(21)设置于凹槽(9)的侧壁上,用于监测上框架(17)是否扣合于下框架(18)的凹槽(9)内,光电传感器(21)、气压传感器、计时器、蜂鸣器、真空泵、电磁阀和驱动电机(19)分别与控制器电连接。
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