[实用新型]超声场耦合下碳铝界面润湿与结构调控装置

摘要

一种超声场耦合下碳铝界面润湿与结构调控装置，包括真空罩、载物台、坩埚、辐射器、耦合器、加液器、加热电阻和热电偶；辐射器与耦合和超声电源连接；载物台与螺纹丝杠和驱动电机装配在一起；真空罩通过阀门与气氛控制装置、惰性气体系统和真空泵系统连通。本实用新型的装置综合了超声场的声流与空化作用，通过声场协同条件优化，以及润湿和界面反应条件优化，获得理想的界面结构调控条件。

主权项

一种超声场耦合下碳铝界面润湿与结构调控装置，其特征在于包括真空罩、载物台、坩埚、辐射器、耦合器、加液器、加热电阻和热电偶；加热电阻、热电偶、载物台和坩埚位于真空罩内部，坩埚底部连接加热电阻，加热电阻底部与载物台连接；辐射器底端插入坩埚内；辐射器顶端穿过真空罩与耦合器连接，耦合器与超声电源通过导线连接；加液器穿过真空罩且底端插入坩埚内部；载物台底部与螺纹丝杠固定连接，螺纹丝杠穿过真空罩与驱动电机装配在一起；真空罩上设有真空接口，真空接口分别通过阀门与气氛控制系统、惰性气体系统和真空泵系统连通；加热电阻和热电偶同时与温控装置通过导线连接。