[实用新型]基于硅硅键合技术的一种水压传感器有效
| 申请号： | 201420228389.0 | 申请日： | 2014-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN203908725U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 郭宏;王莉莎;田继忠;庞晓华;陈英刚 | 申请（专利权）人： | 苏州中崟传感股份有限公司;北京鑫诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金电子科技发展有限公司;威海诺金传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215315 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了基于硅硅键合技术的一种水压传感器，它涉及传感器领域。它包括水压传感器和芯片编程板，芯片编程板一端通过USB通讯接口连接计算机，芯片编程板另一端连接水压传感器，通过芯片编程板来实现芯片的可编程功能。所述的水压传感器上安装有一可编程的信号处理电路和应变电阻片电桥，信号处理电路输入端连接应变电阻片电桥输出端；从而使信号处理电路和应变电阻片电桥集成到一个芯片上，构成了信号处理电路和应变电阻片电桥的一体式结构即一体化压力传感器，减少了传感器的体积和外界对传感器的影响，提高了传感器的稳定性，降低了生产成本，防水保护层设置在应变电阻片电桥外部，在使用过程中用来保护芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 硅硅键合 技术 一种 水压 传感器 | ||
【主权项】：
基于硅硅键合技术的一种水压传感器，其特征在于，包括水压传感器(100)和芯片编程板(101)，芯片编程板(101)一端通过USB通讯接口连接计算机(103)，芯片编程板(101)另一端连接水压传感器(100)，所述的水压传感器(100)上安装有一可编程的信号处理电路(110)和应变电阻片电桥(120)，信号处理电路(110)输入端连接应变电阻片电桥(120)输出端；所述的信号处理电路(110)和应变电阻片电桥(120)为一体式结构，防水保护层(105)设置在应变电阻片电桥(120)外部。
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