[实用新型]为检测硅烷气体中氯化物含量进行硅烷采样的装置

摘要

本实用新型公开了一种为检测硅烷气体中氯化物含量进行硅烷采样的装置。它包括硅烷的减压过滤装置、硅烷的吸收消解装置、硅烷的稀释防燃烧装置，硅烷的减压过滤装置包括顺次相连的减压阀、合流三通阀、过滤器，硅烷的吸收消解装置包括流量计、止回阀、密闭消解瓶、第一磁力搅拌器、第二磁力搅拌器、第一密闭锥形瓶、第二密闭锥形瓶，硅烷的稀释防燃烧装置包括相连的分流三通阀和敞开的水桶。本实用新型在通风柜中处理反应的过程，在确保实验安全的前提下为检测硅烷气体中的氯化物含量而进行硅烷采样，本实用新型解决了吸收处理不彻底、管路死角的残气难以清除以及安全性低等问题，安全性高、方便检测、检测效果好。

主权项

一种为检测硅烷气体中氯化物含量进行硅烷采样的装置，其特点在于，包括硅烷的减压过滤装置、硅烷的吸收消解装置、硅烷的稀释防燃烧装置，硅烷的减压过滤装置包括顺次相连的减压阀（3）、合流三通阀（2）、过滤器（4），硅烷的吸收消解装置包括流量计（5）、止回阀（6）、密闭消解瓶（7）、第一磁力搅拌器（8）、第二磁力搅拌器（9）、第一密闭锥形瓶（10）、第二密闭锥形瓶（11），所述的流量计（5）、止回阀（6）、密闭消解瓶（7）、第一密闭锥形瓶（10）、第二密闭锥形瓶（11）顺次相连，第一磁力搅拌器（8）、第二磁力搅拌器（9）上分别设置有第一密闭锥形瓶（10）、第二密闭锥形瓶（11），硅烷的稀释防燃烧装置包括相连的分流三通阀（1）和敞开的水桶（12），分流三通阀（1）和合流三通阀（2）相连，敞开的水桶（12）与第二密闭锥形瓶（11）相连，整个装置的连接管路为316L不锈钢管。