[实用新型]一种基于微米尺度传感器的铜金属蒸气浓度检测系统有效
| 申请号： | 201420229701.8 | 申请日： | 2014-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN203909242U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王小华;付钰伟;荣命哲;刘定新;杨爱军;汪溟 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R31/327 | 分类号： | G01R31/327 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤;张波涛 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于微米尺度传感器的铜金属蒸气浓度检测系统，包括：微米尺度传感器、信号转换模块、信号放大模块、以及信号采集模块，其中：所述微米尺度传感器通过电极放电将被测气体浓度转换为电流信号，并输出至信号转换模块；所述信号转换模块包括高精密运算放大器，利用高精密运算放大器将所述电流信号转换为电压信号，并输出至信号放大模块；所述信号放大模块包括仪表放大器，利用所述仪表放大器对所述电压信号进行放大，并输出至信号采集模块；所述信号采集模块对所述电压信号进行硬件滤波和采集，并进行输出。本检测系统能够检测微型传感器发出的电流信号，并最终实现铜金属蒸气浓度的精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微米 尺度 传感器 金属 蒸气 浓度 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种基于微米尺度传感器的铜金属蒸气浓度检测系统，包括：微米尺度传感器、信号转换模块、信号放大模块、以及信号采集模块，其中： 所述微米尺度传感器通过电极放电将被测气体浓度转换为电流信号，并输出至信号转换模块； 所述信号转换模块包括高精密运算放大器，利用高精密运算放大器将所述电流信号转换为电压信号，并输出至信号放大模块； 所述信号放大模块包括仪表放大器，利用所述仪表放大器对所述电压信号进行放大，并输出至信号采集模块； 所述信号采集模块实现对所述电压信号的硬件滤波和采集。
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