[实用新型]一种用于检测铜金属蒸气浓度的多电极微型传感器

摘要

本实用新型公开了一种用于检测铜金属蒸气浓度的多电极微型传感器，其下而上包括:放电阴极，所述放电阴极包括金属放电针阵列，所述放电阴极接地，且所述放电阴极通过在金属放电针尖端局部小区域内产生强电场从而场致发射电子，实现电极间被测气体分子电离；第一绝缘支撑，用于隔绝放电阴极和提取电极；提取电极，所述提取电极连接直流电源，提取被测气体通过电离、碰撞、扩散后产生的正离子流，实现电子和正离子流的分离；第二绝缘支撑，用于隔绝提取电极和收集电极；收集电极，所述收集电极连接直流电源，使正离子流波电场加速从而被收集电极收集。本实用新型所公开的传感器可以在常温、大气压及较低电压的条件下使被测气体发生微弱放电，并在收集电极上得到相应放电电流，可用于检测断路器灭弧室内铜蒸气浓度。

主权项

一种用于检测铜金属蒸气浓度的多电极微型传感器，其下而上包括： 放电阴极，所述放电阴极包括金属放电针阵列，所述放电阴极接地，且所述放电阴极通过在金属放电针尖端局部小区域内产生强电场从而场致发射电子，实现电极间被测气体分子电离； 第一绝缘支撑，用于隔绝放电阴极和提取电极； 提取电极，所述提取电极连接直流电源，提取被测气体通过电离、碰撞、扩散后产生的正离子流，实现电子和正离子流的分离； 第二绝缘支撑，用于隔绝提取电极和收集电极； 收集电极，所述收集电极连接直流电源，使正离子流被电场加速从而被收集电极收集。