[实用新型]一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置有效

专利信息
申请号: 201420231359.5 申请日: 2014-05-07
公开(公告)号: CN203823223U 公开(公告)日: 2014-09-10
发明(设计)人: 徐磊;桂鲲;袁洪;张恒;姜志磊 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: F16K37/00 分类号: F16K37/00;F16K31/06
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 李仪萍
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型提供一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置,所述阀门装置至少包括:用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计;用于测量所述第二腔室的第二压力计;用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器,该压力信号处理器的输入端与所述第一压力计和第二压力计相连接的;用于开启和关闭所述狭缝的阀门,该阀门与所述压力信号处理器的输出端相连接并接收所述压力信号处理器输出的控制信号;当所述第一腔室和第二腔室内部压力相等时,所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的开启的控制信号,从而将阀门打开;当所述第一腔室和第二腔室内部压力不相等时,所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的关闭的控制信号,从而保持阀门关闭。
搜索关键词: 一种 控制 腔室间 狭缝 开关 阀门 装置
【主权项】:
一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置,所述腔室包括第一腔室和第二腔室,所述第一腔室与第二腔室之间的腔壁上设置有狭缝,其特征在于,所述阀门装置至少包括:用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计;用于测量所述第二腔室内部压力的第二压力计;用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器,该压力信号处理器的输入端与所述第一压力计和第二压力计相连接的;用于开启和关闭所述狭缝的阀门,该阀门与所述压力信号处理器的输出端相连接并接收所述压力信号处理器输出的控制信号;当所述第一腔室和第二腔室内部压力相等时,所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的开启的控制信号,从而将阀门打开;当所述第一腔室和第二腔室内部压力不相等时,所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的关闭的控制信号,从而保持阀门关闭。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(北京)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420231359.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top