[实用新型]一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置有效
申请号: | 201420231359.5 | 申请日: | 2014-05-07 |
公开(公告)号: | CN203823223U | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 徐磊;桂鲲;袁洪;张恒;姜志磊 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | F16K37/00 | 分类号: | F16K37/00;F16K31/06 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置,所述阀门装置至少包括:用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计;用于测量所述第二腔室的第二压力计;用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器,该压力信号处理器的输入端与所述第一压力计和第二压力计相连接的;用于开启和关闭所述狭缝的阀门,该阀门与所述压力信号处理器的输出端相连接并接收所述压力信号处理器输出的控制信号;当所述第一腔室和第二腔室内部压力相等时,所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的开启的控制信号,从而将阀门打开;当所述第一腔室和第二腔室内部压力不相等时,所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的关闭的控制信号,从而保持阀门关闭。 | ||
搜索关键词: | 一种 控制 腔室间 狭缝 开关 阀门 装置 | ||
【主权项】:
一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置,所述腔室包括第一腔室和第二腔室,所述第一腔室与第二腔室之间的腔壁上设置有狭缝,其特征在于,所述阀门装置至少包括:用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计;用于测量所述第二腔室内部压力的第二压力计;用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器,该压力信号处理器的输入端与所述第一压力计和第二压力计相连接的;用于开启和关闭所述狭缝的阀门,该阀门与所述压力信号处理器的输出端相连接并接收所述压力信号处理器输出的控制信号;当所述第一腔室和第二腔室内部压力相等时,所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的开启的控制信号,从而将阀门打开;当所述第一腔室和第二腔室内部压力不相等时,所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的关闭的控制信号,从而保持阀门关闭。
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