[实用新型]立式真空镀膜系统有效
| 申请号： | 201420233772.5 | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN203890435U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张迅;阳威;欧阳小园;易伟华 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种立式真空镀膜系统包括收容室、主管道、多个子管道及托盘。收容室开设有用于收容玻璃片的收容腔，收容室的底部侧壁上开设有多个抽气孔。多个子管道的一端分别与多个抽气孔连通。主管道包括用于与真空泵连通的第一主管道及第二主管道，第一主管道与第二主管道呈T形连接，第一主管道远离真空泵的一端与第二主管道的中部连通，第二主管道的一端与多个子管道的另一端连通。托盘设于第二主管道的另一端，托盘密封第二主管道的另一端。上述立式真空镀膜系统设计有多个抽气孔，多个抽气孔可将抽气气流进行分流。可以使玻璃保持相对平衡，能够防止玻璃发生较大的晃动，防止玻璃发生裂纹甚至破碎。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
一种立式真空镀膜系统，其特征在于，包括：收容室，开设有用于收容玻璃片的收容腔，所述收容室的底部侧壁上开设有多个抽气孔；多个子管道，多个所述子管道的一端分别与多个所述抽气孔连通；主管道，包括用于与真空泵连通的第一主管道及第二主管道，所述第一主管道与所述第二主管道呈T形连接，所述第一主管道远离所述真空泵的一端与第二主管道的中部连通，所述第二主管道的一端与多个所述子管道的另一端连通；及托盘，设于所述第二主管道的另一端，所述托盘密封所述第二主管道的另一端。
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