[实用新型]一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座

摘要

本实用新型涉及一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座。本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括靶基板、磁钢组件、靶材和对磁钢组件起到调节移动作用的微调装置，该微调装置通过连接座与磁钢组件相连，磁钢组件外围设有U型冷却基座，U型冷却基座内嵌入U型冷却水管，U型冷却基座底部安装靶材；微调装置包括定位左档、可滑动中档、定位右档，三档中间间隔以靶座磁场暗区为基础，可滑动中档通过螺母连接微调丝杆，微调丝杆左、右端部均通过支撑轴承固定于定位左、右档上，微调丝杆端部边缘设有旋转手柄，可滑动中档通过连接座与磁钢组件相连。本实用新型使靶材消耗从V型结构变成U型结构，方便快捷的提高靶材利用率。

主权项

一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括靶基板（2），位于靶基板（2）下方的磁钢组件（4），位于磁钢组件（4）下方的靶材（8），其特征在于：包括对所述磁钢组件（4）起到调节移动作用的微调装置（1），该微调装置（1）通过连接座（3）与磁钢组件（4）相连，所述磁钢组件（4）外围设有U型冷却基座（6），所述U型冷却基座（6）内嵌入U型冷却水管（7），所述U型冷却基座（6）底部安装靶材（8）。