[实用新型]旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材有效
| 申请号： | 201420239547.2 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN203999794U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 赵军;刘钧;陈金良;许倩斐 | 申请（专利权）人： | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 赵卫康 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材，属于溅射镀膜的关键工艺装备。本实用新型的旋转阴极磁棒包括磁棒支架及分布在其表面的磁铁，所述磁铁包括设置在所述磁棒支架端部区的均有按照至少一种排列曲率分布的第一组磁铁；以及设置在所述磁棒支架中部区的第二组磁铁；所述第一、第二组磁铁由多块方形磁铁组成。本实用新型的旋转靶材包括设置在所述靶材内部的靶材背管和靶材背管内部的一根或两根所述旋转阴极磁棒，按照圆弧轮廓排列的第一、第二组磁铁的圆弧面半径小于靶材背管的内表面圆弧面半径。本实用新型的旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材能精确控制磁场强度分布以降低靶材端部蚀刻槽深度，提高靶材使用率。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 阴极 具有 | ||
【主权项】：
旋转阴极磁棒，包括磁棒支架及分布在其表面的磁铁，其特征在于，所述磁铁包括设置在所述磁棒支架端部区的有按照至少一种排列曲率分布的第一组磁铁；以及设置在所述磁棒支架中部区的第二组磁铁；所述第一、第二组磁铁由多块方形磁铁组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江上方电子装备有限公司;，未经浙江上方电子装备有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420239547.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双坐标调节展平辊
- 下一篇：电子束蒸镀装置
- 同类专利
- 专利分类
