[实用新型]半导体晶体切割用树脂支撑板有效
申请号: | 201420241527.9 | 申请日: | 2014-05-12 |
公开(公告)号: | CN204019773U | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
发明(设计)人: | 韩卫;王滢赞;曹中谦 | 申请(专利权)人: | 苏州润德新材料有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体晶体切割用树脂支撑板,该支撑板的一侧表面为圆弧形,在支撑板的圆弧形表面开设有若干凹槽。最好所述凹槽为长条状沟槽,且沿其沟槽长度方向延伸至所述支撑板的两侧面。本实用新型通过在弧形支撑板上加工沟槽,有效地达到了减薄胶水层厚度的目,间接地实现了提高硅片等半导体晶体切割质量、避免切割掉片的效果,为提高半导体晶片的切割水平有很大的帮助。 | ||
搜索关键词: | 半导体 晶体 切割 树脂 支撑 | ||
【主权项】:
一种半导体晶体切割用树脂支撑板,其特征在于:所述支撑板的一侧表面为圆弧形,在支撑板的圆弧形表面开设有若干凹槽。
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