[实用新型]真空镀膜机可拆卸PlASMA电极有效
| 申请号： | 201420248470.5 | 申请日： | 2014-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN203846093U | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 李龙哲;夏伟;朱小凤;孙海澄;周征华 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200540 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，它涉及一种可拆卸式PLASMA电极。它包括第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷、可调节式电极轴、第一O型氟橡胶密封圈、O型保护套、第二O型氟橡胶密封圈，可调节式电极轴上设置有第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷，第一绝缘陶瓷外侧分别设置有第一O型氟橡胶密封圈和第二O型氟橡胶密封圈，第一O型氟橡胶密封圈与第一绝缘陶瓷配合，第二O型氟橡胶密封圈与O型保护套相配合，O型保护套右侧设置有第二绝缘陶瓷。本实用新型延长电极使用寿命。此结构因电极在后部不会污染，节约成本更好的绝缘效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 可拆卸 plasma 电极 | ||
【主权项】：
真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，其特征在于，包括第一绝缘陶瓷(1)、第二绝缘陶瓷(2)、可调节式电极轴(4)、第一O型氟橡胶密封圈(5)、O型保护套(6)、第二O型氟橡胶密封圈(7)，可调节式电极轴(4)上设置有第一绝缘陶瓷(1)、第二绝缘陶瓷(2)，第一绝缘陶瓷(1)外侧分别设置有第一O型氟橡胶密封圈(5)和第二O型氟橡胶密封圈(7)，第一O型氟橡胶密封圈(5)与第一绝缘陶瓷(1)配合，第二O型氟橡胶密封圈(7)与O型保护套(6)相配合，O型保护套(6)右侧设置有第二绝缘陶瓷(2)。
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