[实用新型]一种硅片清洗机有效
| 申请号： | 201420254600.6 | 申请日： | 2014-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN203830375U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 李双江;郭钊 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗机，包括下料台(1)，设置于下料台(1)的工作台面下的传送链条(3)，传送链条(3)用于传送硅片篮(4)，下料台(1)对应硅片篮(4)工作位置处设置有至少两个检测开关(2)，两检测开关(2)沿传送链条(3)的传动方向并行设置；硅片清洗机还包括根据各检测开关(2)中任一者检测到硅片篮(4)的信号，发出停止机械手放下一硅片篮(4)动作的控制器；当各检测开关均将各检测信号发送给控制器，控制器对各信号进行分析、判断，当判断各检测信号中的任一者检测到硅片篮时，便发送停止机械手放下一硅片篮的控制指令于机械手，机械手便会停止向下料台处放硅片篮，避免了砸篮现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗机，包括下料台(1)，设置于所述下料台(1)的工作台面下的传送链条(3)，所述传送链条(3)用于传送硅片篮(4)，其特征在于，所述下料台(1)对应所述硅片篮(4)工作位置处设置有至少两个检测开关(2)，两检测开关(2)沿所述传送链条(3)的传动方向并行设置；所述硅片清洗机还包括根据各所述检测开关(2)中任一者检测到所述硅片篮(4)的信号，发出停止机械手放下一硅片篮(4)动作的控制器。
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