[实用新型]漏液侦测带及漏液侦测系统有效
申请号: | 201420260116.4 | 申请日: | 2014-05-20 |
公开(公告)号: | CN203893984U | 公开(公告)日: | 2014-10-22 |
发明(设计)人: | 徐忠勇;陈刚;高连发;肖叶斌;王均华 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G01M3/02 | 分类号: | G01M3/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种漏液侦测带,所述漏液侦测带为扁平形状,在便于检测漏液的同时,不易被地面经过的其它物体刮伤或带起。另外,设置多层感应内层,避免了部分被挂起而导致的漏液侦测带失效的问题。在防护外层上开设多个相互错开的开口,增加接触面积的同时亦可避免感应内层被漏液短路。此外,在感应内层的表面镀防氧化层,避免了感应内层被氧化而导致漏液侦测带失效的问题。本实用新型所述的漏液侦测带可以相互连接构成漏液侦测系统。 | ||
搜索关键词: | 侦测 系统 | ||
【主权项】:
一种漏液侦测带,其特征在于:所述漏液侦测带整体呈扁平状,其包括感应内层和设置于所述感应内层外侧的防护外层,在所述防护外层上具有通向所述感应内层的开口。
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