[实用新型]研磨头清洗装置和化学机械研磨设备

摘要

本实用新型提供一种研磨头清洗装置和化学机械研磨设备，研磨头的上方设置有一挡板，其中，研磨头清洗装置包括研磨头清洗及硅片装卸单元和雾化器；研磨头清洗及硅片装卸单元具有多个第一喷嘴，研磨头清洗及硅片装卸单元通过多个第一喷嘴喷射出研磨头清洗液，研磨头清洗液的喷射方向对准研磨头；雾化器具有至少一个喷头，雾化器通过喷头喷射出雾气，雾气的喷射方向对准挡板。在本实用新型提供的研磨头清洗装置和化学机械研磨设备中，在研磨头清洗装置中增设一雾化器，雾化器能够在研磨头清洗过程中喷射出雾气以增加湿度，防止化学机械研磨设备的挡板上所残留的研磨液产生结晶现象，进而避免产生颗粒。

主权项

一种研磨头清洗装置，所述研磨头的上方设置有一挡板，其特征在于，所述研磨头清洗装置包括研磨头清洗及硅片装卸单元和雾化器；所述研磨头清洗及硅片装卸单元具有多个第一喷嘴，所述研磨头清洗及硅片装卸单元通过所述多个第一喷嘴喷射出研磨头清洗液，所述研磨头清洗液的喷射方向对准所述研磨头；所述雾化器具有至少一个喷头，所述雾化器通过所述喷头喷射出雾气，所述雾气的喷射方向对准所述挡板。