[实用新型]一种玻璃钝化器件光刻机的自动对位装置有效
| 申请号： | 201420279753.6 | 申请日： | 2014-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN203909469U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 孙镇江;叶海峰;张继稳;吴爱国;魏敦林;郝昌玲 | 申请（专利权）人： | 上海旭福电子有限公司;敦南微电子（无锡）有限公司;敦南科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人： | 罗习群 |
| 地址： | 201619 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种玻璃钝化器件光刻机的自动对位装置，包括光刻机模板和光源，所述光刻机模板，模板的一次相模对应点，设置为二个正方形对应点，二次相模对应点右移一位后设置为小圆点对应点，三次相模对应点，设置为小圆点对应点；所述光源，设置为同轴的二个红外光源，即在中心光源的外围，有辅助光源。具有提高了对位精度，又大大提高了生产效率，通用性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 钝化 器件 光刻 自动 对位 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃钝化器件光刻机的自动对位装置，包括光刻机模板和光源，其特征在于，所述光刻机模板，模板的一次相模对应点，设置为二个正方形对应点，二次相模对应点右移一位后设置为小圆点对应点，三次相模对应点，设置为小圆点对应点；所述光源，设置为同轴的二个红外光源，即在中心光源的外围，有辅助光源。
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