[实用新型]一种测试结构有效
| 申请号： | 201420287577.0 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN204097076U | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 郑超;王伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C99/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种测试结构，包括一对支撑部及连接于其之间的悬空部，所述悬空部包括：纵向相对设置的第一连杆及第二连杆，所述第一连杆与第二连杆内端分别垂直连接有可在应力作用下相对移动的第一测量部及第二测量部，所述第一测量部与第二测量部相向的一面均设置有若干均匀间隔排列的齿状凸点；所述第一连杆与第二连杆外端的左右两侧分别交错连接有一对第一桥线及一对第二桥线，所述第一桥线与第二桥线分别通过第一侧翼部及第二侧翼部与所述支撑部连接；其中，该一对第二桥线的位置与一对第一桥线的位置中心对称。本实用新型可实现薄膜应力的标准化量测，避免人为的误差；可应用自动化的机台进行量测，读数、操作简便，适合大量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种测试结构，包括一对支撑部及连接于该一对支撑部之间的悬空部，其特征在于，所述悬空部包括：纵向相对设置的第一连杆及第二连杆；所述第一连杆与第二连杆内端分别垂直连接有可在应力作用下相对移动的第一测量部及第二测量部，所述第一测量部与第二测量部相向的一面均设置有若干均匀间隔排列的齿状凸点；所述第一连杆外端的左右两侧交错连接有一对第一桥线，所述第一桥线通过第一侧翼部与所述支撑部连接；所述第二连杆外端的左右两侧交错连接有一对第二桥线，所述第二桥线通过第二侧翼部与所述支撑部连接；其中，该一对第二桥线的位置与一对第一桥线的位置中心对称。
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