[实用新型]一种气缸泄露监控系统有效
申请号: | 201420296424.2 | 申请日: | 2014-06-05 |
公开(公告)号: | CN203906449U | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 喻畅;钱文明;周鸿飞;张杰;董明 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | F15B19/00 | 分类号: | F15B19/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种气缸泄露监控系统,至少包括:连接于气缸两端的第一、第二通气管路,分别连接于所述第一、第二通气管路的第一、第二压力检测表,连接于所述第一、第二压力检测表的控制单元,连接于所述控制单元的第一驱动和第二驱动,连接于所述第一驱动的第一马达,连接于所述第二驱动的第二马达,连接于所述第一马达的第一阀门以及连接于所述第二马达的第二阀门,所述第一阀门及所述第二阀门串接于所述第一通气管路和所述第二通气管路。本实用新型通过对气缸两端气压进行检测,当气压低于预设压力值时通过控制系统将排气管路上的针型阀关小,以达到减速的作用,进而防止气缸泄露导致的工作台运行不稳定,减小损失。 | ||
搜索关键词: | 一种 气缸 泄露 监控 系统 | ||
【主权项】:
一种气缸泄露监控系统,其特征在于,所述气缸泄露监控系统至少包括: 气缸、第一通气管路、第二通气管路、第一压力检测表、第二压力检测表、控制单元、第一驱动、第二驱动、第一马达、第二马达、第一阀门、第二阀门以及第三阀门; 所述第一通气管路及所述第二通气管路分别连接于所述气缸及所述第三阀门之间; 所述第一压力检测表及所述第二压力检测表分别连接于所述第一通气管路及所述第二通气管路; 所述控制单元连接于所述第一压力检测表及所述第二压力检测表; 所述第一驱动及所述第二驱动连接于所述控制单元; 所述第一马达及所述第二马达分别连接于所述第一驱动及所述第二驱动,并分别输出控制信号至所述第一阀门及所述第二阀门; 所述第一阀门及所述第二阀门分别串接于所述第一通气管路及第二通气管路上。
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