[实用新型]一种热丝化学气相沉积反应室

摘要

本实用新型涉及化工中薄膜制备领域，具体地来说为一种受热均匀、热丝不易断的热丝化学气相沉积反应室。该反应室包括真空室壁，在真空室壁的对应两侧对称设置水平设置的升降台，升降台在旋转电机的作用下实现水平方向的移动，在升降台端部设置样品台，样品台的顶层为夹层结构，用于放置样品，两个升降台之间设置多个竖直设置的灯丝，灯丝的两端分别通过弹簧固定在真空室壁的上下壁上。本实用新型将灯丝竖直设置，有效地解决了传统灯丝水平设置，由于重力造成下垂从而导致基片受热不均匀的问题。

主权项

一种热丝化学气相沉积反应室，其特征在于，该反应室包括真空室壁，在真空室壁的对应两侧对称设置水平设置的升降台，所述升降台在旋转电机的作用下实现水平方向的移动，在所述升降台端部设置样品台，所述样品台的顶层为夹层结构，用于放置样品，两个升降台之间设置多个竖直设置的灯丝，所述灯丝的两端分别通过弹簧固定在真空室壁的上下壁上。