[实用新型]基于纵横转换放大细分的宏微复合光栅尺测量系统

摘要

本实用新型涉及光学长度测量领域，具体涉及基于纵横转换放大细分的宏微复合光栅尺测量系统，基于纵横转换放大细分的宏微复合光栅尺测量系统，包括光栅尺、可相对光栅尺相对移动的宏微读数系统和计数及图像处理模块，宏微读数系统正对栅纹基面且与光栅尺平行放置,还包括测量参考直线，测量参考直线与图像传感器获取的栅纹在计数及图像处理模块中叠加形成叠加图像，测量参考直线与栅纹形成一定夹角θ。本实用新型通过以上结构，可以兼容现有增量式、绝对式等类型的光栅尺，适用性强，利用高速低精度光栅尺进行宏尺度位移测量，同时利用高效的微尺度读数模块基于机械光学细分技术来获取可靠的高精度微尺度位移值，适合于大栅距尺寸的光栅尺，成本较低。

主权项

基于纵横转换放大细分的宏微复合光栅尺测量系统，包括光栅尺、可相对所述光栅尺相对移动的宏微读数系统和计数及图像处理模块，其特征在于：所述宏微读数系统包含有宏尺度读数模块和微尺度读数模块，所述宏尺度读数模块与微尺度读数模块位置相对固定,所述光栅尺表面设有由栅纹组成的栅纹带,所述宏微读数系统正对所述栅纹基面且与所述光栅尺平行放置,所述宏微读数系统与所述光栅尺保持一定距离；所述宏尺度读数模块和微尺度读数模块通过通信电缆与计数及图像处理模块连接；所述微尺度读数模块包括有图像传感器和镜头，所述镜头置于所述图像传感器的正面；还包括测量参考直线，所述测量参考直线为一条直线或者多条相互平行的直线组，所述测量参考直线与所述图像传感器获取的所述栅纹在所述计数及图像处理模块中叠加形成叠加图像，在所述叠加图像上，所述测量参考直线与所述栅纹形成一定夹角θ。