[实用新型]一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器有效
| 申请号： | 201420308442.8 | 申请日： | 2014-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN203909065U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 高翔;刘文 | 申请（专利权）人： | 常州智梭传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人： | 周建观 |
| 地址： | 213164 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括密封连接的壳体和壳盖，还包括压电基片、压电薄膜、基座和三个声表面波谐振器，压电薄膜设在压电基片的上表面，基座固定在壳体内的底面上，压电基片的一端为固定端，另一端为悬伸端，压电薄膜的一端和压电基片的固定端均固定在基座上，且高于壳体内的底面；至少有一个声表面波谐振器设在压电薄膜的上表面，剩余的声表面谐振器设在压电薄膜和压电基片之间；三个声表面波谐振器谐振频率各不相同；三个声表面波谐振器所产生的声表面波均在x方向传播，而所述x方向是指沿着压电基片的固定端向压电基片的悬伸端的伸出方向。本实用新型能够监测加速度和温度，以及测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面波 具有 温度 补偿 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括壳体（1）和壳盖（2），所述壳体（1）和壳盖（2）密封连接，其特征在于：a、还包括压电基片（3）、压电薄膜（6）、基座（8）和三个声表面波谐振器（4），所述压电薄膜（6）设在压电基片（3）的上表面，所述基座（8）固定在壳体（1）内的底面上，压电基片（3）的一端为固定端，另一端为悬伸端，压电薄膜（6）的一端和压电基片（3）的固定端均固定在基座（8）上，且高于壳体（1）内的底面；b、至少有一个声表面波谐振器（4）设在压电薄膜（6）的上表面，剩余的声表面谐振器（4）设在压电薄膜（6）和压电基片（3）之间；c、所述三个声表面波谐振器（4）并联连接，且谐振频率各不相同；d、所述三个声表面波谐振器（4）所产生的声表面波均在x方向传播，而所述x方向是指沿着压电基片（3）的固定端向压电基片（3）的悬伸端的伸出方向。
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