[实用新型]一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜

摘要

本专利公开了一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜，该增透膜镀制在以Ge为基体材料的光学透镜上，光线垂直入射。膜系设计采用前截止滤光片为基本结构，采用非对称等效层获得与基底折射率的匹配。以ZnS和YF3作为主膜系的高低折射率材料，ZnS和Ge作为等效层材料。在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该增透膜能将可见光及近红外波段的太阳辐照尽可能反射掉，而将长波红外辐射尽可能透射。本专利具有太阳光反射功能的长波红外增透膜性能稳定，适合于中高轨道应用的小型长寿命光学敏感器的太阳防护窗使用，也可用作多光谱红外相机的分色片。

主权项

一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜，它在Ge基底(2)的一面上制备具有太阳光反射功能的长波红外增透膜层(1)，在另一面制备背面长波减反射膜(3)，其特征在于：所述的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜层(1)的膜系结构为：n_s/3.027N3.122H3.302N(0.65N1.3L0.65N)⁵(0.55N1.1L0.55N)⁵(0.45N0.9L0.45N)⁶(0.35N0.7L0.35N)⁶4.035N3.144L9.275N/n₀式中：n_s为基底；n₀为空气；L表示光学厚度为λ₀/4的YF₃膜层；H表示光学厚度为λ₀/4的Ge膜层；N表示光学厚度为λ₀/4的ZnS膜层；λ₀为中心波长；N、H、L前的数字为λ₀/4光学厚度比例系数乘数，指数为所对应的括号中膜堆的周期数。