[实用新型]制备多晶硅的系统和提纯三氯氢硅的系统

摘要

本实用新型提出了制备多晶硅的系统和提纯三氯氢硅的系统。其中，制备多晶硅的系统包括：氢气加热装置，三氯氢硅加热装置，还原炉，气液热交换装置，热水混合装置，三氯氢硅纯化装置，还原炉的原料进口与氢气加热装置和三氯氢硅加热装置相连；气液交换装置分别与氢气加热装置和三氯氢硅加热装置的冷水出口以及还原炉的尾气出口相连；热水混合装置的进水口分别与还原炉的水冷组件以及气液热交换装置相连；以及三氯氢硅纯化装置包括精馏塔，并且精馏塔的热源进口与热水混合装置的还原工段热水出口相连，精馏塔的热源出口与氢气加热装置和三氯氢硅加热装置以及水冷组件相连。利用上述系统可以实现水资源和热能的循环利用，进而显著节省能耗。

主权项

一种制备多晶硅的系统，其特征在于，包括：氢气加热装置，所述氢气加热装置具有氢气进口、氢气出口、热水进口和冷水出口；三氯氢硅加热装置，所述三氯氢硅加热装置具有三氯氢硅进口、三氯氢硅出口、热水进口和冷水出口；还原炉，所述还原炉具有还原腔室和水冷组件，所述还原腔室具有原料进口、产品出口和尾气出口，所述水冷组件具有冷却水进口和热水出口，其中，所述原料进口与所述氢气出口和三氯氢硅出口相连；气液热交换装置，所述气液交换装置分别与所述氢气加热装置和三氯氢硅加热装置的冷水出口以及还原炉的尾气出口相连；热水混合装置，所述热水混合装置具有进水口和还原工段热水出口，所述进水口分别与所述水冷组件的热水出口以及气液热交换装置的热水出口相连；以及三氯氢硅纯化装置，所述三氯氢硅纯化装置包括精馏塔，并且所述精馏塔的热源进口与所述热水混合装置的还原工段热水出口相连，所述精馏塔的热源出口与所述氢气加热装置和三氯氢硅加热装置的热水进口以及所述水冷组件的冷却水进口相连。