[实用新型]双端音叉扫描探针测头系统有效

专利信息
申请号: 201420313822.0 申请日: 2014-06-12
公开(公告)号: CN203909069U 公开(公告)日: 2014-10-29
发明(设计)人: 余惠娟;黄强先;韩彬;胡小娟;张蕤 申请(专利权)人: 合肥工业大学
主分类号: G01Q70/00 分类号: G01Q70/00
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 余成俊
地址: 230009 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种双端音叉扫描探针测头系统,由刚性支承、双端音叉和钨探针构成。刚性支承为整个扫描探针测头系统的刚性支承件,用于固定整个测头机构,并对双端音叉的一个叉端形成全约束。双端音叉的一个叉端连接于刚性支承底面,另一叉端作为自由端且下方底面正中间固定设置大长径比钨探针。本实用新型可用于对软材料等表面的高分辨率、非破坏性测量,并可用于对微沟槽、微台阶等具有大深宽比微器件的表面形貌扫描。
搜索关键词: 音叉 扫描 探针 系统
【主权项】:
双端音叉扫描探针测头系统,其特征在于:包括有刚性支承和双端音叉,所述双端音叉由两个叉端和连接两个叉端的叉臂对构成,双端音叉的一个叉端连接在刚性支承底面,另一个叉端为自由端;叉臂对中两个叉臂分别垂直于刚性支承底面并沿竖向并行设置;双端音叉的自由端下方底面正中间固定有钨探针。
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