[实用新型]双端音叉扫描探针测头系统有效
| 申请号： | 201420313822.0 | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN203909069U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 余惠娟;黄强先;韩彬;胡小娟;张蕤 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01Q70/00 | 分类号： | G01Q70/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种双端音叉扫描探针测头系统，由刚性支承、双端音叉和钨探针构成。刚性支承为整个扫描探针测头系统的刚性支承件，用于固定整个测头机构，并对双端音叉的一个叉端形成全约束。双端音叉的一个叉端连接于刚性支承底面，另一叉端作为自由端且下方底面正中间固定设置大长径比钨探针。本实用新型可用于对软材料等表面的高分辨率、非破坏性测量，并可用于对微沟槽、微台阶等具有大深宽比微器件的表面形貌扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 音叉 扫描 探针 系统 | ||
【主权项】：
双端音叉扫描探针测头系统，其特征在于：包括有刚性支承和双端音叉，所述双端音叉由两个叉端和连接两个叉端的叉臂对构成，双端音叉的一个叉端连接在刚性支承底面，另一个叉端为自由端；叉臂对中两个叉臂分别垂直于刚性支承底面并沿竖向并行设置；双端音叉的自由端下方底面正中间固定有钨探针。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥工业大学，未经合肥工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420313822.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：变电站电流互感器变比测试用伸缩式接线杆
- 下一篇：往复式生物质锅炉
