[实用新型]一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却结构有效
| 申请号： | 201420325075.2 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN203922736U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 甘居富;李斌;梁强;周奇 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 冉鹏程 |
| 地址： | 614899 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却结构，涉及改良西门子法多晶硅还原炉和硅烷CVD法多晶硅还原炉底盘和尾气冷却工艺设备。本实用新型包括还原炉底盘、设置在还原炉底盘底部的冷却水管、连接在还原炉底盘底部的排气管、底盘冷却水入口管和底盘冷却水出口管；所述排气管上设置有夹层套管，所述冷却水管与排气管的夹层套管连通；本实用新型将底盘冷却和尾气冷却采用不同的温度的冷却水，进而将还原炉底盘下的冷却结构进行改变，改变后的冷却结构，能够充分利用尾气中的热量副产水蒸气，增加效益，不造成热量的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 底盘 尾气 冷却 结构 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却结构，包括还原炉底盘、设置在还原炉底盘底部的冷却水管、连接在还原炉底盘底部的排气管、底盘冷却水入口管和底盘冷却水出口管；所述排气管上设置有夹层套管，所述冷却水管与排气管的夹层套管连通；其特征在于：还包括尾气冷却水入口和尾气冷却水出口管；所述排气管底部设置有尾气出口；所述尾气冷却水入口设置在排气管底部的夹层套管上；所述排气管的夹层套管中部位置上设置有阻水通气阀，所述底盘冷却水入口管设置在阻水通气阀上方且与阻水通气阀上方的排气管的夹层套管连通；所述尾气冷却水出口管设置在阻水通气阀下方且与阻水通气阀下方的排气管的夹层套管连通。
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