[实用新型]湿制程系统

摘要

本实用新型涉及PCB、LCD、LED、半导体、触摸屏、太阳能、玻璃、五金电镀等湿制程工艺设备的技术领域，提供湿制程系统，包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置；药水段装置包括药水喷淋机构；药水回吸装置包括回吸段机体、吸液刀及射流器；水洗装置包括水洗喷淋机构、卧式泵及容积改小的储水槽，水洗喷淋机构包括上喷管、下喷管及喷嘴。上述湿制程系统采用吸液刀及射流器，吸取工件上残留药水，达到节约药水目的；采用减小储水槽容积增加水交换频率，并将卧式泵装于腾出空间中，达到节水、节能、高效和空间有效利用目的；总之，通过在工艺、结构上改变，达到排污减少70％、节能50％、节水50％的效果。

主权项

湿制程系统，其特征在于：包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化设计整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置，所述药水段装置包括用于对工件板面喷淋药水并进行化学处理的药水喷淋机构；所述药水回吸装置包括回吸段机体、设于所述回吸段机体上且用于吸取工件上药水的吸液刀、以及用于使所述吸液刀产生真空负压吸力的射流器，所述射流器的导气管与所述吸液刀可拆卸连接；所述水洗装置包括水洗段机体，所述水洗段机体内设有用于朝工件喷射洗水的水洗喷淋机构、以及用于供给洗水的卧式泵；所述水洗喷淋机构包括上喷管及下喷管，所述上喷管与所述下喷管上均设有喷嘴；所述上喷管及所述下喷管分别设置于工件输送方向的上方和下方，所述卧式泵的出水口分别与所述上喷管及所述下喷管连通，进水口连通有容积改小的储水槽，所述储水槽与所述水洗段机体的下机体连接，所述卧式泵设于所述下机体中。