[实用新型]一种带弧形出气口的样品室

摘要

本实用新型可以应用于现有主流激光剥蚀技术中，具体涉及一种带弧形出气口的样品室，包括立方体状的样品室壳体和样品室壳体下部的样品靶架，样品室壳体的一组相对的两个侧面上分别开有进气口和出气口，所述样品室壳体内腔右侧水平设置有弧口朝内的弧形喇叭件，所述弧形喇叭件与出气口的内端平滑过渡连接，克服现有的样品室的出气口位置有很多棱角，在气溶胶的传输过程中会影响传输效率的问题，将样品室的出气口设置呈流线型的出气结构，避免了剥蚀气溶胶在样品室内传输的时候因为死角而滞留，能快速地将气溶胶从出气口中传输出去，提高了传输效率，降低了样品间相互污染的危险，继而提高了后续分析结果的正确性。

主权项

一种带弧形出气口的样品室，包括立方体状的样品室壳体（1）和样品室壳体（1）下部的样品靶架（4），样品室壳体（1）的一组相对的两个侧面上分别开有进气口（2）和出气口（3），其特征在于：所述样品室壳体（1）内腔右侧水平设置有弧口朝内的弧形喇叭件（5），所述弧形喇叭件（5）与出气口（3）的内端平滑过渡连接。