[实用新型]内置排气装置的单晶炉

摘要

本实用新型涉及一种内置排气装置的单晶炉。所述保温筒和保温毡内置有排气装置，所述排气装置的出气口与真空抽口连通，排气装置的进气口与保温筒和加热器之间的内腔连通。通过增加排气孔数量使热系统排气更顺畅，更能有效将挥发物带走，提高拉晶成品率，通过增加保温圈的数量不但使单晶炉炉壁与热场中间增设了缓冲带，并且改变传统排气方式，使挥发物从热场内部流向由内、中保温圈进而组成的实体保温材料，挥发物不但不会在排气孔处聚集和堵塞排气孔而且当石英埚发生硅液溢流时，经过排气装置缓冲后，硅液只能流向缓冲的空间内，从而不会发生硅液流向单晶炉管道的事故，因此，安全隐患大大降低，由于硅液溢流造成的安全事故也会避免发生。

主权项

一种内置排气装置的单晶炉，包括炉体(2)，所述炉体(2)内设置有保温筒(7)，炉体(2)与保温筒(7)之间设置有保温毡(3)，所述炉体(2)内设有石墨坩埚(5)，所述石墨坩埚(5)内设有石英坩埚(4)，所述石英坩埚(4)外侧设有加热器(6)，所述炉体(2)下部两侧设置有真空抽口(9)，其特征在于：所述保温筒(7)和保温毡(3)内置有排气装置(8)，所述排气装置(8)的出气口与真空抽口(9)连通，排气装置(8)的进气口与保温筒(7)和加热器(6)之间的内腔连通；所述排气装置(8)由自内向外依次布置的同心内、中、外保温圈以及与其贴合形成具有双层环形气道结构的上、下盖板圈构成，所述内、中、外保温圈的环壁上均设置有环列排气孔。