[实用新型]一种低能耗单晶炉有效
申请号: | 201420332636.1 | 申请日: | 2014-06-20 |
公开(公告)号: | CN203923449U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 李德建;赵会刚;张晓朋 | 申请(专利权)人: | 河北宁通电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种低能耗单晶炉,属单晶炉技术领域。包括炉体和竖直设置在炉体内底盘上的石墨埚杆,石墨埚杆的上端托住石英坩埚;所述的石墨托杆上部设有开口朝上的石墨托杯,在石墨托杯的空腔内填充保温材料,所述石英坩埚位于石墨托杯上。所述的保温材料为厚度≥100mm的保温碳毡。在所述的石墨托杯和石英坩埚之间还设有石墨埚托。本实用新型为单晶炉配置大尺寸加热系统,在90型单晶炉装配22寸热系统并采取各种保温措施,防止热量散失,可以提高产量和成品率、降低能耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 能耗 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种低能耗单晶炉,包括炉体和竖直设置在炉体内底盘上的石墨埚杆(14),石墨埚杆(14)的上端托住石英坩埚(10);其特征在于:所述的石墨埚杆(14)上部设有开口朝上的石墨托杯(12),在石墨托杯(12)的空腔内填充保温隔热材料(2),所述石英坩埚(10)位于石墨托杯(12)上。
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