[实用新型]一种激光退火设备有效
| 申请号： | 201420334401.6 | 申请日： | 2014-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN203900744U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 钟尚骅 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/60 | 分类号： | B23K26/60;H01L21/268 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 王芝艳;邹宗亮 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种激光退火设备，用于对待处理层进行激光退火处理，所述激光退火设备包括：移动工作台，用于装载具有所述待处理层的基板；以及过渡腔室，设置在所述移动工作台的上方，用于向所述待处理层供给惰性气体，其中所述惰性气体的温度为200～500℃。本实用新型的激光退火设备通过向待处理层供给加热后的惰性气体，从而在退火处理时对待处理层进行预加热处理，由此达成更好的结晶效果，同时更容易地对预加热温度进行调节，此外还可提高激光光源的使用寿命并降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 退火 设备 | ||
【主权项】：
一种激光退火设备，用于对待处理层进行激光退火处理，其特征在于，该激光退火设备包括：移动工作台，用于装载具有所述待处理层的基板；以及过渡腔室，设置在所述移动工作台的上方，用于向所述待处理层供给惰性气体，其中所述惰性气体的温度为200～500℃。
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