[实用新型]基板夹和真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201420343637.6 | 申请日： | 2014-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN203923366U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 辛旭;马海船;陈晓斌 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板夹和真空镀膜设备。该基板夹，包括：夹持器底座，安装在所述夹持器底座上的夹持器，安装在所述夹持器上的夹头，以及安装在所述夹持器底座上的工件基座；所述夹持器底座上设置有条形导轨，所述条形导轨上支撑放置所述工件基座，所述工件基座上设置有与所述夹持器可拆卸连接的定位件。本实用新型在基板夹底座上添加条形滑轨，利用条形导轨带动基板夹底座进行位置调整，确定好工件基座和夹头之间的开度值后，然后使用顶端联动的定位件进行定位，操作简单，简化操作人员工作，减少由于玻璃夹碎所导致的停机，提高设备嫁动率。 | ||
| 搜索关键词： | 基板夹 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种基板夹，包括：夹持器底座，安装在所述夹持器底座上的夹持器，安装在所述夹持器上的夹头，以及安装在所述夹持器底座上的工件基座；其特征在于，所述夹持器底座上设置有条形导轨，所述条形导轨上支撑放置所述工件基座，所述工件基座上设置有与所述夹持器可拆卸连接的定位件。
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