[实用新型]一种载晶台体传动装置有效
申请号: | 201420351366.9 | 申请日: | 2014-06-27 |
公开(公告)号: | CN203927278U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 刘川;张所峰;胡婷婷;王勇 | 申请(专利权)人: | 丹东通达科技有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;G01N23/20 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 118009 辽宁省丹东*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种载晶台体传动装置,具有旋转台、载晶台、谐波传动减速装置、电机、电机连接架以及底架,其中旋转台连接于底架上,旋转台的一侧安装有电机连接架,电机连接架中安装有电机,电机的输出轴通过谐波传动减速装置连接载晶台保持架,载晶台保持架上设有载晶台及晶体位置调整机构。本实用新型采用谐波传动减速装置,载晶台传动平稳,噪声小,传递的扭矩增大,结构简单,减速比大,传动效率高,转台运动精度高,回差小,甚至可以实现无回差传动;寿命长,无冲击,无噪音,维修方便,便于保养、检查和更换零件;采用中空结构,方便走线,避免当线外露运动时造成线段缠绕和信号干扰等的情况发生。 | ||
搜索关键词: | 一种 载晶台体 传动 装置 | ||
【主权项】:
一种载晶台体传动装置,其特征在于:具有旋转台(1)、载晶台(2)、谐波传动减速装置(3)、电机(4)、电机连接架(5)以及底架(19),其中旋转台(1)连接于底架(19)上,旋转台(1)的一侧安装有电机连接架(5),电机连接架(5)中安装有电机(4),电机(4)的输出轴通过谐波传动减速装置连接载晶台保持架(13),载晶台保持架(13)上设有载晶台(2)及晶体位置调整机构。
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