[实用新型]一种新型单晶硅生长炉保温筒有效
| 申请号： | 201420356526.9 | 申请日： | 2014-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN203999903U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 黄建明;方海明;詹国彬 | 申请（专利权）人： | 上海东洋炭素有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种新型单晶硅生长炉保温筒，包括炉底炭毡保温筒和石墨炉底保温筒，其特征在于：所述炉底炭毡保温筒位于外层，所述石墨炉底保温筒位于内层；所述石墨炉底保温筒被分成几部分；所述炉底炭毡保温筒厚度加大，位于电极孔的位置开有槽。本实用新型通过在单晶硅生长炉炉底电极位置作避让措施，使保温层的厚度增加，从而在单晶硅长晶运行过程中提高底部保温作用，有效降低能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 单晶硅 生长 保温 | ||
【主权项】：
一种新型单晶硅生长炉保温筒，包括炉底炭毡保温筒和石墨炉底保温筒，其特征在于：所述炉底炭毡保温筒位于外层，所述石墨炉底保温筒位于内层；所述石墨炉底保温筒被分成几部分；所述炉底炭毡保温筒厚度加大，位于电极孔的位置开有槽。
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