[实用新型]热功率密度径向分布可调的电磁感应加热装置

摘要

本实用新型涉及电磁感应加热领域，特别涉及一种热功率密度径向分布可调的电磁感应加热装置，该装置主要由加热基座、基本线圈、叠加线圈、线路切换装置等组成。基本线圈匝数、各匝高度、各匝间距均可调，叠加线圈位于基本线圈正下方，由多层多匝平面线圈串联而成，最上层线圈最内匝的末端与基本线圈最内匝的末端相连，各匝线圈的高度可调。线路切换装置使交流电路存在两种反复交替变换的子状态，子状态各自的持续时间可调节，各子状态热功率密度分布配合不同的权重叠加得到不同交流电路合状态在加热基座中产生的热功率密度分布，大幅减少了仿真工作量。本实用新型对于研究衬底温场与加热基座热功率密度场间内在联系及灵活调节衬底温度分布有重要意义。

主权项

一种热功率密度径向分布可调的电磁感应加热装置，其特征在于：由加热基座、基本线圈、叠加线圈和线路切换装置组成；加热基座安装于工艺气体参与反应的工艺腔室内部，加热基座的下表面靠近但不接触工艺腔室底部壁面；基本线圈与叠加线圈安装于工艺腔室外部，基本线圈位于加热基座正下方，叠加线圈与基本线圈串联，位于基本线圈正下方；线路切换装置包含两个支路开关，与交流电源、基本线圈和叠加线圈相连。