[实用新型]一种接触式光刻机吸盘有效
| 申请号： | 201420365978.3 | 申请日： | 2014-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN204203626U | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安;翟继鑫 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 徐鹏飞;胡彬 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种接触式光刻机吸盘，其包括金属吸盘本体，所述金属吸盘本体上开设有若干道真空吸气槽，其特征在于，所述金属吸盘本体上于最外侧的真空吸气槽的周边设置有密封部件。上述接触式光刻机吸盘在金属吸盘的周边设置一层密封部件。当真空吸气槽用来吸产品片时，同时也将光掩膜版与产品片间的空气吸走，在光掩膜版与产品片之间形成一层真空层，当光经过真空层时光的强度及方向性都不会受到影响，保持了UV光对胶的高分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 光刻 吸盘 | ||
【主权项】：
一种接触式光刻机吸盘，其包括金属吸盘本体，所述金属吸盘本体上开设有若干道真空吸气槽，其特征在于，所述金属吸盘本体上于最外侧的真空吸气槽的周边设置有密封部件。
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