[实用新型]发光二极管裂片装置有效
| 申请号： | 201420369533.2 | 申请日： | 2014-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN204088353U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 姚禹 | 申请（专利权）人： | 圆融光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种发光二极管裂片装置。本实用新型发光二极管裂片装置，包括：工作台携带晶圆沿水平方向步进移动和转动，在工作台的移动范围内设置有劈裂受台组，在工作台上设置有劈裂装置，劈裂装置位于劈裂受台组的上方；劈裂受台组包括至少两组劈裂受台，劈裂装置包括至少两只劈刀，劈刀的数量与劈裂受台的组数一致；至少两组劈裂受台之间的距离可调整；劈裂受台包括主动受台和从动受台，主动受台和从动受台沿水平方向相对接近或分离；至少两只劈刀之间的距离可调整；在垂直方向上，任意一个劈刀位于与其对应的一组劈裂受台中的主动受台与从动受台之间的缝隙的中线上方；至少两只劈刀沿垂直方向上下运动。本实用新型提高对晶圆的裂片效率。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 裂片 装置 | ||
【主权项】：
一种发光二极管裂片装置，包括：工作台，所述工作台用于承载待劈裂的晶圆，所述工作台携带所述晶圆沿水平方向步进移动和转动，其特征在于，在所述工作台的移动范围内设置有劈裂受台组，在所述工作台上设置有劈裂装置，所述劈裂装置位于所述劈裂受台组的上方；其中，所述劈裂受台组包括至少两组劈裂受台，所述劈裂装置包括至少两只劈刀，所述劈刀的数量与所述劈裂受台的组数一致；所述至少两组劈裂受台之间的距离可调整；每一组所述劈裂受台包括主动受台和从动受台，所述主动受台和所述从动受台沿水平方向相对接近或分离；所述至少两只劈刀之间的距离可调整；在垂直方向上，任意一个所述劈刀位于与其对应的一组所述劈裂受台中的所述主动受台与所述从动受台之间的缝隙的中线上方；所述至少两只劈刀沿垂直方向上下运动。
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