[实用新型]一种金属蚀刻液储液罐有效
申请号: | 201420371384.3 | 申请日: | 2014-07-07 |
公开(公告)号: | CN204056794U | 公开(公告)日: | 2014-12-31 |
发明(设计)人: | 王满根 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
主分类号: | B65D85/84 | 分类号: | B65D85/84;B65D25/02;B65D25/56 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 杜军 |
地址: | 315806 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种金属蚀刻液储液罐。现有的蚀刻液储液罐由于析出的颗粒杂质可能进入蚀刻腔体,造成金属蚀刻过程中出现缺陷。本实用新型包括:罐体,罐体顶部设置有开口;斜坡结构,设置于罐体内并位于开口下方;储液部,位于斜坡结构下方并与斜坡结构联通;出液口,设置于储液部底部;管道,连接储液部和斜坡结构上方的罐壁或者罐顶;泵,作用于管道,可控制的使储液部的液体流向斜坡结构上方;斜坡结构上设置有台阶。本实用新型通过斜坡结构上的台阶在金属蚀刻液进入罐体时将其中的析出颗粒物留在台阶上;储液部的金属蚀刻液通过管道在此泵送到斜坡结构上方,经过一段静置时间的金属蚀刻液再次通过斜坡结构,去除静置期间可能析出的颗粒物。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 蚀刻 液储液罐 | ||
【主权项】:
一种金属蚀刻液储液罐,其特征在于,包括:罐体,所述罐体顶部设置有开口;斜坡结构,设置于所述罐体内并位于所述开口下方;储液部,位于所述斜坡结构下方并与所述斜坡结构联通;出液口,设置于所述储液部底部;管道,连接所述储液部和所述斜坡结构上方的罐壁或者罐顶;泵,作用于所述管道,可控制的使所述储液部的液体流向所述斜坡结构上方;所述斜坡结构上设置有台阶。
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