[实用新型]一种双轴石英角速度传感器芯片

摘要

本实用新型公开了一种双轴石英角速度传感器芯片，包括均沿Y向设置的两平行的驱动梁、两平行的Y轴检测梁、Z轴检测梁和连接梁，连接梁两端与两驱动梁和两Y轴检测梁连接形成H形结构，Z轴检测梁一端与连接梁中部固接并与Y轴检测梁位于同一侧，Z轴检测梁另一端与固定块固接；两驱动梁的上下表面和左右侧壁均覆盖有激励电极；两Y轴检测梁的左右侧壁均覆盖有敏感电极，左右侧壁的敏感电极均由上下平行分开的两部分构成；Z轴检测梁的上下表面和左右侧壁均覆盖有敏感电极。本实用新型为单片一体集成结构，相对于两个单轴石英角速度传感器组装而成的双轴产品，更便于微型化和批量制作。驱动梁和检测梁分开设置，机械耦合小且灵敏度高。

主权项

一种双轴石英角速度传感器芯片，其特征在于：包括两平行的驱动梁、两平行的Y轴检测梁、一根Z轴检测梁和连接梁，所述驱动梁、Y轴检测梁和Z轴检测梁位于同一平面且其长度方向均沿Y向设置，连接梁两端与两驱动梁和两Y轴检测梁连接形成H形结构，两驱动梁位于连接梁同一侧，两Y轴检测梁位于连接梁另一侧，Z轴检测梁一端与连接梁中部固接并与Y轴检测梁位于同一侧，Z轴检测梁另一端与固定块固接；两驱动梁的上下表面和左右侧壁均覆盖有激励电极，同一驱动梁的上下表面的激励电极连接在一起用于与激励电源的正极/负极连接，该同一驱动梁的左右侧壁的激励电极连接在一起用于与激励电源的负极/正极连接；两驱动梁上下表面激励电极和左右侧壁激励电极与激励电源的连接极性相反以使两个驱动梁沿X方向做弯曲反向振动；两Y轴检测梁的左右侧壁均覆盖有敏感电极，左右侧壁的敏感电极均由上下平行分开的两部分构成，用于收集Y轴检测模态下的Z向平面外振动所引起的压电电荷；所述Z轴检测梁的上下表面和左右侧壁均覆盖有敏感电极，用于收集Z轴检测模态下的X向平面内振动所引起的压电电荷。