[实用新型]一种用于炉门的精确控制机构有效
| 申请号： | 201420395633.2 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN204138353U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 李晔纯;成秋云;吴得轶;谢振勇;周顺峰 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强;李发军 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD炉门精确控制机构。所述PECVD炉门精确控制机构包括底座，固定安装在底座上的纵向移动机构，以及装在纵向移动机构上的横向移动机构；可沿着纵向移动机构纵向移动的所述横向移动机构上装有上支撑板，可沿着横向移动机构横向移动的该上支撑板通过一横向固定板与炉门的固定筒固定相连；所述上支撑板上有竖向布置的腰孔，所述横向固定板通过两个穿过所述腰孔的紧固件固定在上支撑板上；所述上支撑板上还设有横向设置的定位凸台，该定位凸台上设有对横向固定板进行竖向定位的定位机构。由此，横向移动机构可以实现炉门的横向移动，再结合炉门上下的定位机构，实现了炉门位置的精确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 炉门 精确 控制 机构 | ||
【主权项】：
一种用于炉门的精确控制机构，其特征在于，包括底座，固定安装在底座上的纵向移动机构（6），以及装在纵向移动机构（6）上的横向移动机构（5）；可沿着纵向移动机构（6）纵向移动的所述横向移动机构（5）上装有上支撑板（4），可沿着横向移动机构（5）横向移动的该上支撑板（4）通过一横向固定板（3）与炉门（1）的固定筒（2）固定相连；所述上支撑板（4）上有竖向布置的腰孔（9），所述横向固定板（3）通过两个穿过所述腰孔（9）的紧固件固定在上支撑板（4）上；所述上支撑板（4）上还设有横向设置的定位凸台，该定位凸台上设有对横向固定板（3）进行竖向定位的定位机构。
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