[实用新型]一种MOCVD反应室的水冷电极

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD反应室的水冷电极，包括：尾端穿过反应室腔体且前端面设有冷却沉孔的电极杆，尾端设于冷却沉孔内的进水管、设于电极杆前端且密封连通所述冷却沉孔的出水管，所述电极杆中部设有一圈向外凸出的轴肩，所述轴肩通过紧固螺钉固定在反应室腔体前侧面上，所述轴肩与反应室腔体前侧面之间设有绝缘密封组件，所述轴肩与紧固螺钉之间设有绝缘组件，所述电极杆穿过反应室腔体的部分套有绝缘陶瓷套。本实用新型的电极杆自身设有轴肩，绝缘密封组件与轴肩的连接结构简单，安装方便，绝缘密封性能好。

主权项

一种MOCVD反应室的水冷电极，包括：尾端穿过反应室腔体且前端面设有冷却沉孔的电极杆，尾端设于冷却沉孔内的进水管、设于电极杆前端且密封连通所述冷却沉孔的出水管，其特征在于，所述电极杆中部设有一圈向外凸出的轴肩，所述轴肩通过紧固螺钉固定在反应室腔体前侧面上，所述轴肩与反应室腔体前侧面之间设有绝缘密封组件，所述轴肩与紧固螺钉之间设有绝缘组件，所述电极杆穿过反应室腔体的部分套有绝缘陶瓷套；所述绝缘密封组件包括：沿电极杆径向方向由内向外依次套于电极杆上的第一绝缘环、第一密封圈及第二绝缘环；所述绝缘组件包括：设于所述轴肩与紧固螺钉之间的螺钉绝缘套、设于所述轴肩前侧面与紧固螺钉头部之间的第三绝缘环；所述第二、三绝缘环上设有与所述紧固螺钉外径配合的安装孔。