[实用新型]一种便于在线维护的膜厚监控设备

摘要

本实用新型涉及一种应用于真空制膜镀膜机中监控膜厚及镀膜速率的监控仪器设备，尤指不需要停止生产作业线的一种便于在线维护的膜厚监控设备及其维护工艺；设备主要包括监控系统、控制系统和工作炉体，监控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延伸到另外一端；在正常工作时，监控系统安装在工作炉体上使其合为一体，并通过控制系统对监控系统实时在线监控和操作，对监控系统进行维护工作时，只需将监控探测仪脱离工作炉体后在外界进行正常的维护工作，保证工作炉体的清洁度，实现在线维护，降低了维护难度和维护成本，提高了维护工作的质量。

主权项

一种便于在线维护的膜厚监控设备，所述的设备主要包括监控系统、控制系统和工作炉体，监控系统与工作炉体连接，控制系统与监控系统电性相连；其特征在于：所述的监控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延伸到另外一端；当监控探测仪处于工作状态时，控制系统控制监控探测仪往密封端盖方向伸长移动，使得探头部分贯穿密封端盖延伸在腔体外；当监控探测仪处于维护状态时，控制系统控制监控探测仪背向密封端盖侧收缩移动，使得探头部分收缩在腔体内部；腔体正对收缩在腔体内部的探头位置上开设有通孔，通孔上安装有阀门，打开阀门后腔体内部通过阀门与外界环境相通，维护工具可以从阀门进入腔体内部对监控探测仪或探头进行维护，关闭阀门使得通孔处于密封状态；腔体上安装有气阀，气阀上连接有压力计； 所述的腔体一端开口，密封端盖安装在腔体开口端，腔体通过密封端盖与工作炉体连接；所述的密封端盖可密封镶嵌在工作炉体内部，当密封端盖关闭时，腔体内部与外界环境隔绝密封，当密封端盖打开时，腔体内部与外界环境相通。