[实用新型]一种晶硅太阳能电池的反应离子刻蚀设备

摘要

本实用新型公开了一种晶硅太阳能电池的反应离子刻蚀设备，包括电极平板、气体系统和射频电源，所述电极平板包括阴极和阳极，所述阴极与所述射频电源相连接，所述气体系统用于产生反应气体、刻蚀气体和保护气体。采用本实用新型，硅片置于电极平板中，启动反应离子，搭配刻蚀气体对硅片的正面绒面进行刻蚀，然后保护气体生成聚合物形成侧璧保护，使得正面绒面的垂直方向的蚀刻速率远大于对侧璧的蚀刻速率，从而在硅片的表面形成良好微结构，有效减少光子反射，大幅提高了电池短路电流，增加了电池发电效率。

主权项

一种晶硅太阳能电池的反应离子刻蚀设备，其特征在于，包括电极平板、气体系统和射频电源，所述电极平板包括阴极和阳极，所述阴极与所述射频电源相连接，所述气体系统用于产生反应气体、刻蚀气体和保护气体。