[实用新型]用于排纸源石英舟的底座有效
| 申请号： | 201420406635.7 | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN204029782U | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张馨;马汝朝 | 申请（专利权）人： | 济南晶博电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/683 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 王汝银 |
| 地址： | 250200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于排纸源石英舟的底座，它包括底板、支架、活动板、挡板和挡块，所述支架的下端固定在所述底板的后端，所述挡板设置在底板的前端，在挡板后方设置若干挡块；所述活动板的上端两侧设置有凸钮，在所述支架内侧设置有与所述凸钮配合的滑槽。本实用新型结构简单，小巧，移动灵活方便；石英舟可倾斜放在上面，因此在排放纸源和硅片时不需要用手扶持；它的活动板可调节坡度，可根据需要调整石英舟的倾斜度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 排纸源 石英 底座 | ||
【主权项】：
一种用于排纸源石英舟的底座，其特征在于，它包括底板、支架、活动板、挡板和挡块，所述支架的下端固定在所述底板的后端，所述挡板设置在底板的前端，在挡板后方设置若干挡块；所述活动板的上端两侧设置有凸钮，在所述支架内侧设置有与所述凸钮配合的滑槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
