[实用新型]一种非接触式孔径测量装置

摘要

本实用新型公开了一种非接触式孔径测量装置。目前应用于微小孔孔径测量的电容式传感器测头局限于测量某一固定孔径，测量效率较低。本实用新型中滚珠丝杆与调节电机的输出轴固定，标尺光栅固定在滚珠丝杆上；丝杆螺母与滚珠丝杆连接，指示光栅与丝杆螺母固定；四根连杆的一端均与调节电机的电机座铰接，另一端分别与一根推杆铰接；四根推杆的一端均与丝杆螺母铰接，另一端分别与一个电极板衬座固定；四个电极板衬座的同一端端面分别固定有一块电极板；电极板衬座和电极板均呈横截面为扇环的柱体；四块电极板沿圆周均布。本实用新型的电极板沿径向方向可调，实现变孔径的精密测量，包括大长径比的微孔、阶梯孔的测量。

主权项

一种非接触式孔径测量装置，包括调节电机、连杆、标尺光栅、指示光栅、丝杆螺母、电极板、推杆、滚珠丝杆和电极板衬座，其特征在于：所述的滚珠丝杆与调节电机的输出轴固定，标尺光栅固定套置在滚珠丝杆上；所述的丝杆螺母与滚珠丝杆连接，所述的指示光栅与丝杆螺母固定，并套置在标尺光栅外；四根连杆的一端均与调节电机的电机座铰接，另一端分别与一根推杆铰接；四根推杆的一端均与丝杆螺母铰接，另一端分别与一个电极板衬座固定；所述四个电极板衬座沿圆周均布，且同一端端面分别固定有一块电极板；所述的电极板衬座和电极板均呈横截面为扇环的柱体；所述电极板衬座的外侧壁所在圆周直径大于电极板的外侧壁所在圆周直径；所述的电极板衬座采用绝缘材料；四块电极板沿圆周均布。