[实用新型]包装辅助结构、包装辅助装置和包装系统有效
申请号: | 201420416542.2 | 申请日: | 2014-07-25 |
公开(公告)号: | CN203997124U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 高海林;张学良 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B65B65/00 | 分类号: | B65B65/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型所述的包装辅助结构具有第一止挡部、第二止挡部和第三止挡部,两侧的第二止挡部和第三止挡部相互平行,且两侧的第二止挡部和第三止挡部垂直于第一止挡部的表面。本实用新型所述的包装辅助装置由多个包装辅助结构串接而成,适用于多个晶圆盒的真空包装。本实用新型所述的包装系统包括一个固定住的包装辅助装置和一个活动的包装辅助装置,在对晶圆盒进行真空包装时,只需一个人操作即可。 | ||
搜索关键词: | 包装 辅助 结构 装置 系统 | ||
【主权项】:
一种包装辅助结构,其特征在于:包括第一止挡部、第二止挡部和第三止挡部,所述第二止挡部和第三止挡部互相平行,所述第一止挡部与所述第二止挡部和第三止挡部垂直连接。
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