[实用新型]底盘自动清洗装置有效
申请号: | 201420416559.8 | 申请日: | 2014-07-25 |
公开(公告)号: | CN203991592U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 惠海霞;朱瑜杰;孙强;陈思安 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;H01L21/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供的底盘自动清洗装置,包括:用于支撑一待清洗装置的标准机械界面、用于清洗所述待清洗装置的底盘的清洗平台、用于驱动所述清洗平台相对所述标准机械界面移动的移动滑轨机构以及用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的控制系统。所述移动滑轨机构位于所述标准机械界面背离所述待清洗装置的一侧,所述清洗平台连接所述移动滑轨机构。本实用新型的底盘自动清洗装置,所述控制系统使得所述移动滑轨机构带动所述清洗平台相对于所述标准机械界面移动,从而实现自动清洗底盘的功能,提高底盘的清洗效率和清洗效果,提高了工艺生产的效率。 | ||
搜索关键词: | 底盘 自动 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种底盘自动清洗装置,其特征在于,包括:用于支撑一待清洗装置的标准机械界面;用于清洗所述待清洗装置的底盘的清洗平台;用于驱动所述清洗平台相对所述标准机械界面移动的移动滑轨机构,所述移动滑轨机构位于所述标准机械界面背离所述待清洗装置的一侧;以及用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的控制系统。
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