[实用新型]三种气体隔离式双匀气室喷淋装置

摘要

三种气体隔离式双匀气室喷淋装置，主要解决现有技术存在的加工成本高、加工周期长及容易出现废品的问题。它主要由进气法兰、分气部件、侧壁、喷淋盘面四个部分组成。所述侧壁的外径与喷淋盘面的边沿的外径相等，侧壁的高度与喷淋盘面的沟槽的槽宽相等，将侧壁焊接在喷淋盘面的边沿上，使沟槽得以封闭，封闭后的沟槽形成匀气室A。将焊接后的两个部分钎焊在一起，使分气部件的孔A与孔C一一相通，使所有孔B与喷淋盘面腰形槽相通，上述分气部件与喷淋盘面形成空腔、腰形槽得以封闭成为匀气室B。本实用新型通过设置三种气体独立通道，来实现三种气体在流出喷淋装置前相互隔离流动，并同时流出喷淋装置进行镀膜工艺过程，缩短了加工周期，降低了加工成本及报废率，使喷淋装置的可靠性得以保证。

主权项

三种气体隔离式双匀气室喷淋装置，主要由进气法兰、分气部件、侧壁、喷淋盘面四个部分组成，在分气部件的上端焊接进气法兰，进气法兰将环形沟槽A、环形沟槽B封闭，进气法兰上设置进气口A、进气口B、进气口C，进气口A与分气部件的环形沟槽A相通，进气口B与分气部件的环形沟槽B相通，进气口C与分气部件的圆孔相通，上述进气法兰和分气部件就成为第一个部分，其特征在于：所述侧壁的外径与喷淋盘面的边沿的外径相等，侧壁的高度与喷淋盘面的沟槽的槽宽相等，将侧壁焊接在喷淋盘面的边沿上，使沟槽得以封闭，封闭后的沟槽形成匀气室A，侧壁与喷淋盘面就成为第二个部分，将焊接后的两个部分钎焊在一起，使分气部件的孔A与孔C一一相通，使所有孔B与喷淋盘面腰形槽相通，上述分气部件与喷淋盘面形成空腔、腰形槽得以封闭成为匀气室B。