[实用新型]一种传动系统的刹车装置有效
| 申请号： | 201420430444.4 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN203979214U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 潘建伟;邵业明;倪尧;张伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F16D63/00 | 分类号： | F16D63/00;F16D65/14;F16D121/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种传动系统的刹车装置，设置在传动系统的传送带上，所述刹车装置至少包括：轴承，由制动杆和非制动杆构成；刹车片，套接在所述轴承上；电磁线圈，设置在所述非制动杆的端部，所述电磁线圈通过弹性部件控制刹车片在轴承上的位置；齿轮，设置在所述制动杆的端部，与传动系统的传送带接触；手动旋钮，与所述弹性部件物理连接。本实用新型的刹车装置在发生断电或马达控制器报错时锁死皮带，使传送系统紧急制动。再通过手动旋钮，机台维修人员可以手动使此装置的锁死失效，手动转动皮带使被传送的晶圆到达安全位置，甚至跑完剩余的制程，可以避免维修系统时晶圆被卡碎，也不会因传送系统发生制动使晶圆沾上水或残留液而报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传动系统 刹车 装置 | ||
【主权项】：
一种传动系统的刹车装置，设置在传动系统的传送带上，其特征在于，所述刹车装置至少包括：轴承，由制动杆和非制动杆构成；刹车片，套接在所述轴承上；电磁线圈，设置在所述非制动杆的端部，所述电磁线圈通过弹性部件控制刹车片在轴承上的位置；齿轮，设置在所述制动杆的端部，与传动系统的传送带接触；手动旋钮，与所述弹性部件物理连接，旋转手动旋钮，通过所述弹性部件控制刹车片在轴承上的位置。
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