[实用新型]用于晶圆切割道检测设备的除液装置

摘要

本实用新型是有关于一种用于晶圆切割道检测设备的除液装置，其包括：升降模块以及除液滚轮模块。除液装置设置于晶圆切割道检测设备中待测晶圆的移出路径的下方，而除液滚轮模块结合于升降模块的升降部上，当升降部下降至第一位置时，除液滚轮模块会连动位移至晶圆切割道检测设备中晶圆检测平台的开孔下方，又当升降部上升至第二位置时，除液滚轮模块会连动上升穿过开孔，并接触待测晶圆的下表面，以去除待测晶圆上的液体。借由本实用新型的实施，可利用自动化设备去除残留在待测晶圆下表面的液体。

主权项

一种用于晶圆切割道检测设备的除液装置，其特征在于：其设置于晶圆检测平台的待测晶圆的移出路径的下方，用以去除该待测晶圆上的液体，该晶圆检测平台具有开孔，且该除液装置包括：升降模块，其具有升降部；以及除液滚轮模块，其结合于该升降部，该升降部在第一位置及第二位置之间移动，该第一位置是该除液滚轮模块位于该开孔的下方，又该第二位置是该除液滚轮模块穿过该开孔并接触该待测晶圆。