[实用新型]一种中大尺寸蓝宝石晶圆图案化制程黄光涂布前清洗装置有效
| 申请号： | 201420449768.2 | 申请日： | 2014-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN204093787U | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘伯彦;王晓靁;刘崇志;钟其龙 | 申请（专利权）人： | 厦门润晶光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B1/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种蓝宝石晶圆图案化制程黄光涂布前清洗装置，由电机、真空吸附台、底部喷头、顶部喷头、侧喷头和刷头组成，真空吸附台安装在电机的输出端，底部喷头安装在真空吸附台下方的侧边，顶部喷头以可水平移动的方式安装在真空吸附台上方，侧喷头安装在真空吸附台上方的侧边，刷头也以可水平移动的方式安装在真空吸附台上方。本实用新型可以避免交叉污染的现象，达到清洗的效果，进而提高了后续图案化制程及MOCVD制程的成品率及良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 蓝宝石 图案 化制程黄光涂布前 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶圆图案化制程黄光涂布前清洗装置，其特征在于：由电机、真空吸附台、底部喷头、顶部喷头、侧喷头和刷头组成，真空吸附台安装在电机的输出端，底部喷头安装在真空吸附台下方的侧边，顶部喷头以可水平移动的方式安装在真空吸附台上方，侧喷头安装在真空吸附台上方的侧边，刷头也以可水平移动的方式安装在真空吸附台上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门润晶光电有限公司，未经厦门润晶光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420449768.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于塑料粉碎后收集成品的一次清洗分离装置
- 下一篇：一种浸泡清洗盆
